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藍景 TOC 分析儀(電導率法):ppb級精準監(jiān)測,助力芯片良率提升

更新時間:2025-12-26      點擊次數:170

半導體晶圓制造過程中,超純水的純度要求極-致嚴苛,水中痕量有機碳殘留會吸附在晶圓表面,影響光刻、蝕刻等關鍵工藝,直接導致芯片良率下降。我們的TOC分析儀(電導率法),以ppb級高靈敏度檢測能力,專為半導體超純水監(jiān)測打造,精準捕捉痕量有機碳,為半導體精密制造保駕護航。

 

制冷型氣體紅外熱成像儀_01.jpg

 

極-致靈敏度,捕捉痕量隱患。半導體超純水對TOC含量要求極-高,通常需控制在1ppb以下。我們的分析儀檢測范圍覆蓋0.001mg/L~1.600mg/L(1ppb~1600ppb),示值誤差僅±5%,重復性RSD≤2%,能精準捕捉超純水中的痕量有機碳,遠超行業(yè)監(jiān)測標準。采用雙波長高效氧化技術,185nm+254nm紫外燈產生強氧化性自由基,確保有機物徹-底氧化,結合差值電導率檢測,徹-底消除無機碳干擾,每一組數據都精準可靠。

 

制冷型氣體紅外熱成像儀_09.jpg

 

穩(wěn)定運行,適配連續(xù)生產需求。半導體生產為24小時連續(xù)化流程,超純水監(jiān)測容不得絲毫中斷。儀器支持長期連續(xù)在線運行,響應時間<12min,能快速反饋水質狀況,第-一時間發(fā)現水質波動,避免因水質問題導致的生產中斷與晶圓報廢。無試劑設計,純物理光氧化原理,減少了因試劑更換、設備維護帶來的停機時間;長壽命石英反應器與紫外燈設計,進一步提升設備穩(wěn)定性,年維護成本大幅降低。

 

 

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